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友達光電L3B廠 洞見節水先機

文 / 王一芝    
2003-11-01
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友達光電L3B廠 洞見節水先機
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終於,久旱的新竹,悄然地落下竹科園區科技廠商引頸企盼的甘霖。

許多廠家得知,已經有驚無險解除兩年來第三次限水警報後,如釋重負,但對因節水有成的友達光電L3B廠來說,卻好似什麼事都沒發生。

友達光電L3B廠大刀闊斧的節水動作,致使製程用水回收率高達78%,一年內更撙節了近一百萬噸,約等於整個大新竹地區三天的用水量,帶來新台幣3300萬元的經濟效益,免除缺水的危機。

全球第三大、台灣薄膜電晶體液晶顯示器(TFT-LCD)的龍頭友達光電,光是在新竹科學園區三座三‧五世代廠的單日總用水量,就將近一.六萬噸,幾乎是園區一天用水量的十分之一。

TFT- LCD產業製程中的蝕刻、顯影和清洗三個步驟,皆需使用大量清水清洗化學原料,缺水的影響甚至比缺電還嚴重。有鑑於此,友達光電在當初規劃L3B新世代廠房選用製程時,就已將水資源回收再利用的系統納入。

友達光電L3B廠廠長劉秉德形容,節水設備的配置就如同水電管線,勢必得在興建房屋時就將之埋進牆壁。

有別於其他TFT-LCD廠家在製程中廣泛運用「溼蝕刻機」,來移除薄膜表面的原子,友達光電大膽啟用了完全不耗水的「乾蝕刻機」來替代,一天就先省下一千四百噸的用水。

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本文出自 2003 / 11 月號

第209期遠見雜誌

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