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創新永續的濾網技術 助微奈米晶圓升級

112年金牌企業卓越獎-愛地球獎-濾能股份有限公司

遠見雜誌整合傳播部企劃製作
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遠見雜誌整合傳播部企劃製作

2024-08-19

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黃銘文董事長迎合全球ESG趨勢,憑藉微污染防治專業,發展濾能公司的關鍵技術,成為半導體產業落實環保永續的最佳助力。
黃銘文董事長迎合全球ESG趨勢,憑藉微污染防治專業,發展濾能公司的關鍵技術,成為半導體產業落實環保永續的最佳助力。

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濾能於2014年成立,提供微污染(AMC, Airborne Molecular Contamination)防治服務,透過濾網的材料研發創新,防止空氣中看不見的氣體分子飄落,避免在無塵室內造成污染,進而導致設備耗材的多次更換,或製出良率低落的晶圓產品。在每步驟都極為精細的先進製程晶圓片製造過程中,扮演控制成本與品質的關鍵角色。

台灣半導體產業能引領全球,最關鍵的奧妙之一,掌握在濾能公司的核心技術。當年離開大企業投身創業,身為微污染防治專家、濾能股份有限公司董事長黃銘文,預見了一條未來道路:當半導體製程不斷演進,無塵室對污染防治會更加重視,這個市場將來可能會大爆發。

不過創業維艱,沒有大企業的品牌加持,新創公司即使四處推銷,仍苦無訂單,「剛創業的前2年,推廣非常辛苦,要建立客戶信任,尤其是半導體業面對國際客戶的訂單要求量大而嚴謹,不能允許製程的任何失誤。」直到2016年濾能公司的業務人員接到一通來自全球最大晶圓廠的電話,才迎來關鍵的轉機。

濾能公司從客戶使用性為導向,兼顧產品的安全、減廢、節費等附加價值,終獲半導體大廠青睞,成功翻轉企業草創期的經營頹勢。

濾能公司從客戶使用性為導向,兼顧產品的安全、減廢、節費等附加價值,終獲半導體大廠青睞,成功翻轉企業草創期的經營頹勢。

突破傳統濾網痛點,創新輕巧安全又節費

當時,晚間值班的工程師發現廠區有微染問題,必須要立即更換濾網。過去半導體廠用的傳統濾網,一組3到4片,濾材加上鋁框重達20公斤以上,如果無塵室被汙染,一個區域要換上百甚至上千組。「對設備工程師來說,巨大的重量加上換濾網必須高空作業,要一個人獨力完成濾網更換是不可能的任務,甚至具有危險性。」這時,大廠想到了濾能的簡便型濾網,「他請我們隔天拿幾組過去試試。我們單片才3公斤,輕巧卻具高度阻絕性、氣密性,產品會說話,就成了最佳實力驗證。」成功的救援,讓濾能有了翻轉的契機,逐漸損益兩平。2021年6月,濾能掛牌上櫃,當時主力產品「抽取式濾網」已拿下國內先進製程的5成市占率,更在2022年首度突破10億元營收大關,在成軍短短的9年內繳出亮眼成績。

事實上濾能的創新研發,不只是產品力的升級,更是永續環保的實踐,兼具安全、減廢、節費的三大優勢。黃銘文解釋,為了達到氣密度,傳統濾網會使用PU膠把鋁框跟濾材黏死,而大量的化學膠雖然能維持氣密度,但當使用壽命到期,更換時的拆解工作十分困難,必須連框帶料整組報廢,非常不符合環保趨勢。濾能所設計的「模組化化學濾網」,將濾網框體及濾材,以模組化方式組成完整的化學濾網,讓濾材可自框體中抽取出來;一旦濾材的吸附效能已達使用壽命期限,只需更換新濾材,保留框體重覆再使用,即能大大減少廢棄物的產生。也因為只需抽換濾材,不用將整顆濾網及框體進行搬運更換,同時整體重量大幅減輕,讓安裝工程的風險降低,施作過程也更安全無虞。

不用PU膠粘合的設計,則讓產品本身在無塵室裡具有無outgassing釋出的疑慮,呼應客戶重視化學氣體釋出的來源控制,有效控制無塵室裡的AMC(微量氣懸污染物)狀態。黃銘文表示,「以環保模組化濾網為主軸,不僅能為客戶省下成本,更能依照客戶的環境空間來彈性配置濾材,有效降低客戶AMC維運成本40%,創造經濟、環境和社會三嬴的效益。」

構築製程的零廢與循環經濟,不只為濾能公司帶來產品優勢,更是代表企業努力為環境永續盡一份心力。

構築製程的零廢與循環經濟,不只為濾能公司帶來產品優勢,更是代表企業努力為環境永續盡一份心力。

不只重覆使用,濾材回收再製燃料棒發電

不只減廢,濾材還能回收再利用!濾能透過回收再生的方式,大幅減少60%以上濾網廢棄物;而無法再利用的濾材,則再製成燃料棒(RDF,refuse derived fuel)用於生質能發電,燃燒後的底渣還可做成環保高壓磚,達成百分百的零廢經濟。這項創新方案,正呼應全球ESG趨勢,對大型半導體廠落實ESG是一大加分,也成為濾能與國際濾網大廠競爭的優勢。

「不只是賣產品,濾能希望成為全球性的綠色企業,回饋社會,落實企業永續,為未來留下更好的環境!」黃銘文表示,除了桃園楊梅,濾能也在南科建廠投產,積極提升產能;展望未來,濾能不僅致力供應半導體產業製程所需的產品,更要強化技術輸出,與當地企業進行合作,把減量、減廢的環保概念推廣至國際,探勘永續綠色商機。


113年桃金企業獎官方網站: https://event.gvm.com.tw/taogoldaward/2024/


(桃園市政府經濟發展局廣告)

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