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現場直擊!台積電全球最大晶圓廠

文 / 鄭婷方    
2013-10-11
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現場直擊!台積電全球最大晶圓廠
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台積電首次開放媒體進入廠區無塵室參訪,地點選在南科14廠,這是全球最大的12吋晶圓廠,首度曝光。據說,韓國媒體對台積電的超大晶圓廠,興趣之高難以想像,投了無數採訪請求,但台積電為了嚴守機密,從未同意韓國媒體採訪。《遠見》記者親自體驗進無塵室前嚴密程序,除了身上的衣物鞋襪外,其他物品都不得帶入無塵室。首先,先經過金屬探測門確認一切淨空,接著到自動洗手區,把手伸進小洞,就能自動洗手、烘乾。

著裝時刻來臨,工作人員協助穿上無塵衣、無塵靴,還要戴上口罩及手套,只剩下眼睛露在外頭,每個人都像極了要上外太空的太空人。進入無塵室,就像進入未來世界,頭頂上佈滿三、四層軌道,上有載送晶圓的小車來往,會自動會車、加減速。交通最忙碌的交會口,每小時有1200輛自動車經過,比台南假日的交流道的車流還要更繁忙。

這座自動化搬運系統,光是錯綜軌道就有43公里,超過台北到桃園的距離,遠遠看就像車子都飛在天上,壯觀至極。每天晶片的運送輛能達到60萬次,是台北捷運載客量的7.7倍,而每台小車造價都是一台進口車那麼昂貴。

導覽人員一一介紹製程手續,從光學顯影、乾式蝕刻、溼式蝕刻、化學及物理氣相沉積,更領著大家參觀曝光機模擬情境,每一道功續、每一個步驟,都務求精準。以蝕刻程序為例,精準度等於從台北到高雄劃一條直線,卻僅有0.1公分誤差。

偌大晶圓廠內,工作人員並不多,大部分的生產線員工,只要坐在電腦前遠端監控,就能知道每台機器的運作狀況。幾個月後,台積自動化程度會更提高,一個工作人員能管理75台機器,甚至許多人員也不必再穿著無塵衣包的密不透風,而可以在辦公室裡搖控,舒坦許多。

在半導體製程微縮上,台積一直站在世界最前端,目前台積電在28奈米市佔率達到全球9成以上,明年第一季20奈米製程將進行量產,到了第二季就能有正式營收,20 奈米生產基地,無塵室面積更將是前一期的1.4倍,會再創下全球最大單一無塵室的紀錄。

柏克萊前校長、已經80幾歲的Robert Birgeneau博士,參觀期間連走兩個小時的路也不喊累。一輩子都在半導體業的他驚呼,「從沒看過這麼大的晶圓廠,來看一次真的很值得!」

要進到無塵室工作,就必須像跟這位工作人員一般,全副武裝,不只穿上無塵衣、還得配戴口罩和手套,只剩下眼睛露在外頭,因為只要一點點微塵,就會大幅影響晶圓良率。

台積電十四廠無塵室天花板上佈滿軌道,是全自動的晶圓搬運系統(Automatic Material Handling System),整座廠裡軌道總長度可達43公里,比台北到桃園(約35公里),還要遠上不少。

位於南科的台積電14廠,是全台灣首座綠建築鑽石級半導體廠房,辦公區裡還有四層樓高的植生牆,天窗灑下自然光,綠意盎然。

(照片提供∕台積電)

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