半導體界花木蘭王淑敏磨出40％成長率

小心翼翼換上無塵服，套好潔淨靴、口罩、手套，通過風淋室再吹去灰塵，《遠見》記者們踏進大陸唯一一家本土半導體化學機械研磨液材料商安集微電子的實驗室，只見裡頭的工作人員，正用生產線上機台實驗，將乳白液體滴點在晶圓上，細細拋光。

可別小看這一滴滴乳白液體，這可是半導體製程中最關鍵的材料之一：化學機械研磨液。工程師杜銘宇一面導覽一面說：「不同製程迭代升級，研磨液都有不同的配方。」

大陸唯一半導體高端研磨液廠商

只要詢問晶圓廠的工程主管，他們都同意，製造程序中，化學機械研磨（CMP）被認為是最精密、很傷成本，也絕不能出錯的程序。面對製程愈來愈微縮的趨勢，更變得愈來愈不可或缺，90奈米以下的製程一定會用到，甚至這道工序還要做好幾次。

過往，這些半導體化學機械研磨液體等關鍵材料，全部都掌握在外商手裡，例如美商嘉柏微電子、陶氏化學，地位難以撼動，對不少半導體晶圓廠來說，更不太可能替換材料供應商，因為一個閃失就可能大大影響良率，損失難以估計。

但如今，後起之秀從大陸崛起。

大陸十年來已成功孕育出第一家本土公司安集，不僅大陸第一大晶圓廠中芯國際埋單，據傳2012年時更賣進全球最大半導體公司、製程技術一直最領先的英特爾（Intel），也已是台積電、聯電、日月光的合格供應商。

很難想像，在這大多都是理工男的半導體領域，安集背後的靈魂人物，竟是一位女性。董事長兼首席執行官王淑敏，被媒體暱稱為大陸半導體界的花木蘭，外表看來纖瘦秀氣，但說起話來卻宏亮。員工形容她是大陸半導體界第一美女，又是極有魄力的鐵娘子。

王淑敏則說自己是「書本上定義的海歸派」。1986年鄭州大學化學系畢業，讀了兩年南開大學碩士班，便到美國名校萊斯大學攻讀化學博士，畢業後便加入IBM，後來又踏入半導體材料領域，擔任嘉柏微電子亞洲技術總監。

當時，王淑敏即時常往返美國及亞洲，發現亞洲半導體材料供應鏈遠遠不足，看到商機的王淑敏，毅然在2004年時返回大陸創業，從第一天就想辦世界級的公司，做半導體製程的高端研磨液。

從無到有非常辛苦，「困難到想起來都要掉眼淚的，」她回顧。所幸，王淑敏在半導體界有響亮名聲，很快地找到幾個重量級投資人及政府單位投資支持，才能撐到今天，堪稱十年磨一劍。

只不過，初期開發客戶時，仍然很殘酷。「人家每次一看，唉喲，你是中國公司，做化學機械研磨拋光液？」不少客戶眉頭一皺覺得這產品肯定是山寨，否則就是品質沒保障，甚至一開始連大陸的前幾大晶圓代工廠中芯國際、華虹宏力，都保持懷疑態度，「人家可能就測驗三個項目，我們則要反覆驗證不知幾次，就像跳一個高得像牆的門檻一般。」

要切入半導體材料供應鏈，到底有多難？第一步，要先提供數據審核，在還沒客戶的狀況下，就必須先想辦法生出在實際半導體製程中，化學機械研磨設備上實驗的數據報告。

通過書面審查，客戶才願意小量嘗試，程序很嚴酷。一位晶圓廠主管說：「就看良率怎樣，一翻兩瞪眼。」小量驗證如果通過，才能進入更正式檢驗程序，同樣也看良率，沒有商量餘地。

通常，一家新進材料業者要名列合格供應商名單，最少一年半載，甚至更長。

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一路過關斬將「夠強人家才會幫你」

王淑敏形容，這些驗證程序，就跟奧運會比賽一樣，有初篩選、預賽、複賽、半決賽、總決賽……，一關過一關。

然而，機會是留給準備好的人。有一次，面對一個大客戶，安集只是「備選」，但因為國外材料大廠供貨出問題，又不能讓生產線停下來，客戶便姑且給了一次機會，沒想到一次應急事件，卻讓客戶刮目相看，此事也在半導體界傳開，「這是硬碰硬拚出來的！」王淑敏回憶。

另外，雖然不少化學機械研磨液專利早在2000年時，就卡死在外商手裡，但是因為製程快速變遷，舊專利已經不符時代，便給新進廠商大顯身手的機會。

王淑敏比喻，化學機械研磨液，要求精細的程度到10～20個埃米（angstrom），等於細到頭髮的十萬分之一，「就像一頭恐龍要管理螞蟻王國一般困難。」

但她做到了。

近幾年來安集陸續得到肯定。被稱為中國半導體第一人、展訊創辦人陳大同在演講裡曾提及，「安集是大陸唯一化學機械研磨液半導體材料商，每年成長40～60％。」

中國科學院微電子所所長葉甜春回想，本土的半導體材料供應鏈，這幾年是從無到有，萬分艱辛，但是「一個個都冒出頭來了」。